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分析了微机电系统发展的可能性，必然性和对科学与经济发展的巨大意义，总结了发展微机电系统的若干主要的工艺技术，介绍了微机电系统当前的进展与发展前景。
微机电系统
【摘 要】
：
分析了微机电系统发展的可能性，必然性和对科学与经济发展的巨大意义，总结了发展微机电系统的若干主要的工艺技术，介绍了微机电系统当前的进展与发展前景。
【机 构】
：
东南大学电子工程系,210096
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年2期
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