复合电镀镍基-金刚石刀片的研制

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随着大规模集成电路的发展,对划硅芯片的精度要求更高.目前应用的砂轮划片机划片精度和效率都较高.使用的刀片是含金刚石的金属环状(~φ50.8×40mm)薄片,厚度为20~50μm.根据对进口镍-金刚石刀片的剖析,确定采用复合电镀法研制镍基金刚石刀片.2.实验方法实验所用阴极为不锈钢园环,阳极是电解镍板.镀槽放在超级恒温槽中,温度控制在±0.5℃. With the development of large-scale integrated circuits, the accuracy of wafer-slicing silicon chips is higher, and the currently used dicing saws have higher precision and efficiency in dicing. The blades used are diamond rings (~ φ50.8 × 40mm) flake, the thickness of 20 ~ 50μm.According to the analysis of imported nickel - diamond blade, to determine the use of composite plating method developed nickel-based diamond blade .2 experimental method used in the experiment of stainless steel cathode ring, the anode is the electrolytic nickel plate. Plating tank on the super-constant temperature bath, temperature control at ± 0.5 ℃.
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