【摘 要】
：
以ZnO和Al2O3粉体为原料,在不同的热压温度下制备AZO靶材。通过阿基米德法测量靶材的密度,压汞法测量靶材的孔径分布,扫描电镜观察靶材的断面形貌。将所制备的靶材作为溅射源
【机 构】
：
北京有色金属研究总院矿物资源与冶金材料研究所
论文部分内容阅读
以ZnO和Al2O3粉体为原料,在不同的热压温度下制备AZO靶材。通过阿基米德法测量靶材的密度,压汞法测量靶材的孔径分布,扫描电镜观察靶材的断面形貌。将所制备的靶材作为溅射源,进行射频磁控镀膜测试。采用台阶仪测量膜厚,紫外分光光度计测量薄膜透光率,四探针电阻图谱仪测量薄膜电阻率,XRD分析薄膜结构,研究靶材密度及孔径分布与薄膜光电性能的关系。结果表明,经过机械合金化和煅烧处理制备的原料粉(m(ZnO)∶m(Al2O3)=98∶2),Al部分扩散进入ZnO晶格中,另一部分由于固溶度的限制形成了ZnAl2O4尖晶石。在相同的溅射条件下,靶材密度越高,薄膜沉积速率越快,所得薄膜电阻率越低,但溅射功率较高时薄膜透光率明显减小。平均孔径较小且孔径分布集中的靶材,溅射所得薄膜电阻率较低。在溅射功率密度为3.9W/cm2下,相对密度高于80%的AZO靶材,靶材寿命大于150W.h。相对密度为94.79%的靶材在溅射功率30W下沉积20min得到薄膜的电阻率为3.14×10-4Ω.cm,平均透过率大于85%,具有(002)择优取向,满足薄膜太阳能对透明导电薄膜性能的要求。
其他文献
利用天山西部地区9个县市气象站近50年的降水、气温和水面蒸发观测资料,分析了天山西部地区干旱指数与干燥度的关系,并推导出用降水和气温资料计算E601型蒸发器观测值表示的
中国共产党在四川大地领导开展的民主革命,形成了革命老区精神,给蜀文化注入了红色基因,形成了红色蜀文化,成为社会主义核心价值体系的重要来源。弘扬革命老区精神,发挥红色
美国著名人类学家、中国学大师施坚雅教授所创立的"集市体系理论"和"区域体系理论",涉及了人类学、人口学、地理学、历史学和社会学的多学科体系,为海内外各学界所广泛称道和
当前创新创业活动的蓬勃开展离不开相关政策的引导和推动,但是并非所有的政策在此过程中都可以起到积极作用。积极的政策可以刺激产品和技术的重大革新,推动创新创业的开展,
事故调查与政府公信力密切相关,根据事故发生的特征,政府公信力可以分解为事故调查理念的公信力、事故调查主体的公信力、事故调查行为的公信力和事故调查结论的公信力四个维
<正>桃李芬芳满天下今年7月中旬,在上海市金山区举办的近300名全国各地小选手参加的第23届中国少儿戏曲小梅花荟萃大赛中,来自江苏省昆山市石牌中心小学的四年级小学生李子晴
现浇钢筋混凝土楼板裂缝是一种常见的质量通病。主要通过对现浇钢筋混凝土楼板裂缝的成因分析,提出了相应的防治措施,以预防和避免有害裂缝的出现和发展,确保房屋安全。
<正>2014年4月29日~5月4日,由浙江虹越花卉股份有限公司主办的2014虹越春季花展暨海宁国际花卉城在浙江海宁市开展及开业。花展正值"五一"小长假期间,到虹越花展一游,享受芳
随着休闲时代的到来,市民对城市休闲游憩空间的需求越来越高。本文首先对城市游憩空间与遗址公园及二者的概念与关系进行了辨析,从个人空间、建筑空间、游憩路径和景观环境四
分析饮食管理对糖尿病控制的应用价值。选取就诊的2型糖尿病患者50例,随机分为试验组与对照组各25例,对照组行常规治疗,试验组除常规治疗外加强饮食管理,6个月后对比两组血清