【摘 要】
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利用电感耦合等离子体(ICP)及电子束探针微分析(EPMA)装置对等离子体辅助的分子束外延(MBE)法在蓝宝石衬底上生长的Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的Mg组分进行了测试,经理论分析,导出适
【机 构】
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北京交通大学光波技术研究所,北京交通大学光波技术研究所,Bio Venture Center, Osaka Institute of Technology,Asahiku,Osaka 535-8585
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利用电感耦合等离子体(ICP)及电子束探针微分析(EPMA)装置对等离子体辅助的分子束外延(MBE)法在蓝宝石衬底上生长的Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的Mg组分进行了测试,经理论分析,导出适合于生长过程中Zn过剩和Zn不足两种情况下进行Mg组分分析的理论模型,进一步针对Zn过剩的生长条件,得出表示薄膜的Mg组分与薄膜生长过程中Mg坩埚温度之间关系的数学表达式,并通过实验测试验证了这一表达式的正确性。
The Mg composition of Zn1-xMgxO thin films grown by plasma assisted epitaxy (MBE) on a sapphire substrate by Inductively Coupled Plasma (ICP) and Electron Beam Microanalysis (EPMA) After theoretical analysis and theoretical analysis, the theoretical model suitable for the analysis of Mg component in Zn growth and Zn deficiency is deduced. Based on the growth conditions of excess Zn, the results show that the Mg content and the film The growth of the Mg crucible temperature mathematical relationship between the expression, and verified by an experimental test the correctness of this expression.
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基于位错理论和Olson等人提出的层错能模型,考虑到外加应力场的作用,建立了fcc(γ)→hcp(ε)马氏体相变在小角度晶界处形核时,胚核尺寸与能量之间的关系模型,用此应用模型讨
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