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介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点，介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧，重点阐述了如何在超精密加工的多个环节，如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。
波面激光干涉仪在超精密加工中的应用
【摘 要】
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介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点，介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧，重点阐述了如何在超精密加工的多个环节，如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉
【机 构】
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北京航空精密机械研究所
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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2004年期
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