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【摘 要】
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本文通过讨论SOI芯片的制作、SOI电路的特性、典型SOI器件的结构和性能阐述了SOI技术的现状，同时介绍了与SOI技术未来有关的一些关键问题．本文还强调了为了在商业领域与体硅材
【机 构】
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周口教育学院
【出 处】
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河南教育学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2000年2期
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