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本文针对GaAs材料定量分析的要求,对法国RIBER公司四极SIMS仪器的工作参数进行了调整,研究了二次离子分析系统、电子倍增器的参数和靶电位对仪器性能的影响。同时研究了氧源注氧对二次离子产额及信噪比的影响。这些研究为GaAs材料定量分析打下了基础。
四极二次离子质谱仪器参数对定量分析影响的研究——GaAs定量分析基础研究之一
【摘 要】
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本文针对GaAs材料定量分析的要求,对法国RIBER公司四极SIMS仪器的工作参数进行了调整,研究了二次离子分析系统、电子倍增器的参数和靶电位对仪器性能的影响。同时研究了氧源
【机 构】
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清华大学电子工程系,中科院表面物理实验室,中科院表面物理实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1991年2期
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