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采用短波紫外光（UV）在十八烷基三氯硅烷（OTS）自组装单分子层刻蚀不同的微型图案，利用液相自组装技术在OTS模板表面沉积HfO2图案化薄膜。通过XRD、AFM、SEM、EDS等测试手段对OTS膜和HfO2薄膜进行表征，结果表明：以OTS为模板利用液相自组装技术成功制备出边缘轮廓清晰、粗糙度较小、条纹宽度为10μm的立方晶型的HfO2图案化薄膜。