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采用失重法测定316L钢、304钢、20号碳钢在四氯化硅溶液中的腐蚀速率,并利用光学显微镜观察其表面形貌,从而评价其耐蚀性能.结果表明:三种金属材料在四氯化硅沸腾溶液中耐腐蚀性能从好到差依次为316L钢＞304钢＞20号碳钢,316L钢在沸腾的四氯化硅溶液中平均腐蚀速率小于0.01 mm/a,能够满足四氯化硅提纯设备的要求.