【摘 要】
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研制了一台磁场可调微波离子源,在离子源放电室处需要的磁场由一组永久磁铁产生,永久磁铁外部安装了铁磁回路,铁磁回路的结构可以很容易的手动调整,通过调整铁磁回路的结构,
【机 构】
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中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院 北京 102413,北京 102413,北京
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研制了一台磁场可调微波离子源,在离子源放电室处需要的磁场由一组永久磁铁产生,永久磁铁外部安装了铁磁回路,铁磁回路的结构可以很容易的手动调整,通过调整铁磁回路的结构,可以在放电室产生要求的磁场.在调试过程中,也可以调整铁磁回路以改变离子源内部磁场结构,有利于获得最佳放电条件.该源在测试中,从3mm直径的引出孔引出了17mA的离子束.
A magnetic field adjustable microwave ion source is developed. The required magnetic field in the discharge chamber of the ion source is generated by a set of permanent magnets. The ferromagnetic circuit is installed outside the permanent magnet. The structure of the ferromagnetic circuit can be easily and manually adjusted. Ferromagnetic circuit structure can generate the required magnetic field in the discharge chamber during the debugging process, you can adjust the ferromagnetic circuit to change the internal magnetic field structure of the ion source, in favor of obtaining the best discharge conditions.The source in the test, from 3mm The diameter of the exit leads to a 17 mA ion beam.
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