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介绍了微细电化学加工的原理及其特点,系统地阐述了微细电化学加工在几个方面的研究情况和工艺特点,例如EFAB工艺、3D电化学加工、约束刻蚀剂层技术等。微细电化学加工必将在未来的微纳加工中起着举足轻重的作用。
电化学微细加工技术的研究进展
【摘 要】
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介绍了微细电化学加工的原理及其特点,系统地阐述了微细电化学加工在几个方面的研究情况和工艺特点,例如EFAB工艺、3D电化学加工、约束刻蚀剂层技术等。微细电化学加工必将在
【机 构】
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南昌航空大学
【出 处】
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江西化工
【发表日期】
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2016年1期
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