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期刊论文
多刀切割技术在石英玻璃片生产中的应用
多刀切割技术在石英玻璃片生产中的应用
来源 :中国建材科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zixian007
【摘 要】
:
本文探讨了多刀切割技术在石英玻璃片大规模生产中遇到的重要问题,并提出解决方案,建立了石英玻璃的多刀切割工艺。
【作 者】
:
孔敏
花宁
【机 构】
:
中国建筑材料科学研究总院
【出 处】
:
中国建材科技
【发表日期】
:
2014年2期
【关键词】
:
多刀切割
石英玻璃片
光掩模板
multiple-cut
quartz glassplate
Photo Mask
【基金项目】
:
国家科技支撑计划项目:信息产业用高纯石英玻璃及制品的绿色制造关键技术与示范项目编号:2013BAE03801-02国家国际科技合作项目:深紫外光学石英玻璃材料的研制项目编号:2012DFA51310
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本文探讨了多刀切割技术在石英玻璃片大规模生产中遇到的重要问题,并提出解决方案,建立了石英玻璃的多刀切割工艺。
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