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947型氦质谱检漏仪故障分析
947型氦质谱检漏仪故障分析
来源 :电子元器件应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windows2xp
【摘 要】
:
扼要介绍947型氦质谱检漏仪的工作原理、故障原因及排除。
【作 者】
:
徐屹峰
武西弟
等
【机 构】
:
西安微电子技术研究所
【出 处】
:
电子元器件应用
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
947型
氦
质谱检漏仪
故障排除
工作原理
Leak detector Instrument Fault
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扼要介绍947型氦质谱检漏仪的工作原理、故障原因及排除。
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