【摘 要】
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扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时,又将减小泵的抽速,这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在泵口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有
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扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时,又将减小泵的抽速,这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在泵口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有效的阻挡,而低的部分留作抽气通导,这对设计低返油、大通导的挡油障板无疑是一种启迪。
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