【摘 要】
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本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制
【机 构】
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中国科学院长春精密光学机械研究所,北京理工大学光电工程系
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本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
This article describes the 8031 single-chip microcomputer as the core developed by the diffraction grating sculpting machine open-loop control of high-precision positioning system. The system uses grating interferometer, programmable amplifier, interference fringe subdivision and motor grading speed control method, the system has both closed-loop control of high-precision features, but also has open-loop control is simple, easy to operate and so on. Practical shows: The system controls the positioning accuracy of scoring machine σ = 3.6nm, the maximum positioning error of 14.6nm.
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