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选取质量差异很大的Ｃ、Ｔｉ、Ｔｉ＋Ｃ离子对钢进行了离子注入，用透射电子显微镜对注入样口横截面进行结构分析。结果表明，注入层结构发生了明显的变化，形成了纳米相镶嵌复合层，复合层的深度大约是相应离子射程的５．９－１３．７８倍。三条条件下注入，其结构变化有明显的差异。用ＴＲＩＭ９５程序对三种离子注入的碰撞参数进行了计算，结果表明，结构的变化明显地与注入参数相关，最后分子复合层特性的变化与注入条件和结构变