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以苯乙烯蒸气作为聚合反应单体，在射频低气压等离子体中形成聚合物薄膜，研究了残留于等离子体应室中的空气杂质对等离子体聚合过程及薄膜结构的影响，并讨论了消除这种影响的可能途径。
残余气体对等离子体制备聚合膜的影响
【摘 要】
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以苯乙烯蒸气作为聚合反应单体，在射频低气压等离子体中形成聚合物薄膜，研究了残留于等离子体应室中的空气杂质对等离子体聚合过程及薄膜结构的影响，并讨论了消除这种影响的可能
【机 构】
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清华大学电机工程与应用电子技术系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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