【摘 要】
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提出了一种基于数字微反射镜（DMD）微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入，经过缩微光学成像系统缩微后，在光刻胶干板上逐单元网点曝光，再经过显影、微电铸得
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提出了一种基于数字微反射镜（DMD）微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入，经过缩微光学成像系统缩微后，在光刻胶干板上逐单元网点曝光，再经过显影、微电铸得到导光板模板，在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板，厚度仅为0．381mm。采用自行研制的SVGwriting—DMD激光直写系统，图形的最小分辨率为2μm，DMD微光刻法无需掩膜版，可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布，便于大幅面的导光板模板的制作。
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