【摘 要】
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利用电子迴旋共振(ECR)的原理,在10~(-3)—10~(-1)Pa的低压强下,已成功地产生了高活性,高密度的微波等离子体。运用静电探针装置,研究了N_2、Ar放电中微波功率、气体压强对等
【机 构】
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清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系
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利用电子迴旋共振(ECR)的原理,在10~(-3)—10~(-1)Pa的低压强下,已成功地产生了高活性,高密度的微波等离子体。运用静电探针装置,研究了N_2、Ar放电中微波功率、气体压强对等离子体参量的影响,并对放电等离子体进行了质谱分析。
Using the electron cyclotron resonance (ECR) principle, a microwave plasma with high activity and high density has been successfully produced under the low pressure of 10 ~ (-3) -10 ~ (-1) Pa. The effects of microwave power and gas pressure on plasma parameters in N 2 and Ar discharges were studied by using electrostatic probe device. The discharge plasma was analyzed by mass spectrometry.
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