论文部分内容阅读
近20年来,国内外众多学者一直在潜心研究大长度绝对干涉测量技术,并先后研制出以二氧化碳、氦氙和氦氖激光器为光源的若干测量系统,但至今尚未进入实用阶段。介绍了几种用氦氖激光器作光源的拍波绝干对涉测长系统,对其优缺点进行了详细分析,并指出了该技术实用化过程中的几个关键问题,以便早日研制成功实用的大长度绝对干涉测量仪,从而满足科研和工业生产的需要。