论文部分内容阅读
采用干／湿法腐蚀相结合技术，利用氢氧化钾(KOH)溶液和六氟化硫(SF6)对Si及SiGe材料进行腐蚀，研究自对准Si／SiGe HBT台面器件，获得了fT=40GHz，fmax=127．1GHz的结果．
基于干／湿法腐蚀的自对准SiGe HBT器件
【摘 要】
：
采用干／湿法腐蚀相结合技术，利用氢氧化钾(KOH)溶液和六氟化硫(SF6)对Si及SiGe材料进行腐蚀，研究自对准Si／SiGe HBT台面器件，获得了fT=40GHz，fmax=127．1GHz的结果．
【机 构】
：
西安电子科技大学微电子所,西安电子科技大学微电子所,中国电子科技集团电子24所
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2005年1期
【基金项目】
：
国防预研基金资助项目 (批准号 :99JS0 9.2 .6.DZ3 40 3 )~~
其他文献
介绍了基于LiNb03电光强度调制器的40GHz宽带调制光源的设计．对其中的关键技术，如直流激光器稳态工作、调制器输出功率稳定性、频率响应预失真补偿以及整体设计等逐一加以分析，
用分子束外延技术在BaF2衬底(111)晶面上生长了PbSe单晶薄膜,研究了不同Se/PbSe束流比(Rf)对薄膜表面形貌的影响.在无Se束流(Rf=0)下制备的PbSe薄膜表面呈现三维岛状结构.当R
将一种精确高效的等效电路训练人工神经网络模型引入共面波导不连续性结构建模．该建模算法继承了等效电路模型和电磁仿真人工神经网络模型的优点．此次开发并得到验证的共面波导
清末民初时期，教会学校和洋务新式学堂在具体教学实践中，逐步形成了将英语和汉语同时作为教学语言的双语教学，并成为备受关注的教学模式，为传播近代西学提供了语言文字方面的便利
采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜，在不同温度下对薄膜进行退火，研究了薄膜晶体结构随退火温度的转化情况．对TiO2薄膜氧敏器件特性进行了测试，结果表明，在400℃下灵敏度随氧分压增
<正>基于网络技术设计开发医德档案管理系统,分析系统需求和技术特点,阐述其功能实现,包括员工管理、医德事项管理及权限管理,并对应用效果进行评价。一、引言1.医德档案制。
随着人们生活水平的不断提高,对精神文化需求也不断提升,尤其是对电视节目的播出质量提出了更高的要求。随着清晰度的不断的提升,电视视频的上传以及节目单编制难度也在不断
毛泽东在中华苏维埃共和国时期的治理思想，在理论思考与实践运作方面均具有开创性，不仅仅促进了中华苏维埃共和国的健康发展，而且对以后中国共产党局部执政和全国执政时期的诸多