【摘 要】
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采用空心热阴极放电(HCD)方法实行了铬和钛的氨化物的反应离子镀,研究表明沉积在基体上的硬度是温度施加于基体的偏压和氮气分压的函数。 为了使放电维持在 1.5 × 10-3托的
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采用空心热阴极放电(HCD)方法实行了铬和钛的氨化物的反应离子镀,研究表明沉积在基体上的硬度是温度施加于基体的偏压和氮气分压的函数。 为了使放电维持在 1.5 × 10-3托的水平,通过电子枪向容器引入 30cm3(STP)min-1的氩流量,这个枪是由内径为4mm的钽管制成,管的壁厚为0.5mm,
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