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本发明提供一种红外探测器，它包括一个列阵，列阵中的每个像元都有一个微桥结构。在上述微桥结构中有一片与衬底隔开的膜片，它是由一种横梁结构支撑的．每个像元还有一个真空封装结构，该真空封装结构内有一层窗口薄膜，这是用来封闭由于去除膜片中的第一和第二层牺牲薄膜而形成的第一和第二个真空容积的。
带真空封装结构的红外探测器
【摘 要】
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本发明提供一种红外探测器，它包括一个列阵，列阵中的每个像元都有一个微桥结构。在上述微桥结构中有一片与衬底隔开的膜片，它是由一种横梁结构支撑的．每个像元还有一个真空封装结
【出 处】
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红外
【发表日期】
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2005年11期
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