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微机电系统是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。随着科学技术的发展，微机电系统在精度和可靠性方面都有了很大的提高，得到了越来越广泛的应用。论述了微机电系统的技术特征、主要技术和加工工艺，并展望了微机电系统在航天器上的应用前景。