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本文综述了激光退火发展概况,扼要介绍了激光退火机理、主要应用、新的动向及其存在的问题,可供有关科技工作者参考
激光退火技术
【摘 要】
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本文综述了激光退火发展概况,扼要介绍了激光退火机理、主要应用、新的动向及其存在的问题,可供有关科技工作者参考
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1981年03期
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