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针对小模数齿轮传统方法测量难，费时费力等缺点，提出了一种基于三坐标测量机CCD测头在齿轮偏差测量中的新方法。该方法可以实现在齿廓有效工作范围内自动快速扫描齿廓坐标，并直接进行数据存储与处理，通过渐开线拟合的方法得到各偏差，实现在线测量。理论分析和实验表明，本方法对小模数齿轮的测量具有简便、无接触和效率高的优点。