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根据Langmuir探针理论,讨论了由双探针特性曲线得到电子温度的近似处理方法,在此基础上研制出了低温等离子体实时诊断仪,并给出了应用实例。
冷等离子体诊断仪及其应用
【摘 要】
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根据Langmuir探针理论,讨论了由双探针特性曲线得到电子温度的近似处理方法,在此基础上研制出了低温等离子体实时诊断仪,并给出了应用实例。
【机 构】
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中南民族学院,中南民族学院
【出 处】
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湖北大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年4期
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