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<正> 微系统必须是由不同材料加工而成的微米级的结构。切削加工方法(如磨削、铣或钻)与蚀刻工艺相比,有更大的灵活性,适用于小批量生产,加工的速度快,可加工的形状多样化。
微细切削加工
【摘 要】
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<正> 微系统必须是由不同材料加工而成的微米级的结构。切削加工方法(如磨削、铣或钻)与蚀刻工艺相比,有更大的灵活性,适用于小批量生产,加工的速度快,可加工的形状多样化。
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1997年3期
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