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介绍了一种新型的非制冷高灵敏度硅微机械电子隧穿红外控测器的工作原理，详细描述了这种红外探测器的设计思想和制作工艺，采用微机械体硅加工的三层硅结构制作出探测器原理样品，通过和反馈电路（包括前置放大电路）连接测试表明：电子隧穿位移传感器部分的分辨率可达１０＾－４ｎｍ／√Ｈｚ，红外探测器样品已能敏感红外信号。