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本文采用直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜,对其进行了拉曼光谱及扫描电镜分析.并介绍了几种实验中常见的晶形.最后对金刚石的形成过程作了初步探讨.
金刚石薄膜的快速沉积及成膜研究
【摘 要】
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本文采用直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜,对其进行了拉曼光谱及扫描电镜分析.并介绍了几种实验中常见的晶形.最后对金刚石的形成过程作了初步探讨.
【机 构】
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北京理工大学化工系,北京理工大学化工系北京,北京,北京
【出 处】
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化工学报
【发表日期】
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1991年5期
【基金项目】
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国家863新材料专家组资助
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