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分别利用模拟退火算法和遗传算法在MATLAB6．5中编写了一个数据处理程序，用来处理VASE椭偏仪在光谱范围为500nm～900nm所测得的椭偏数据。根据VASE椭偏仪的光度法原理，对评价函数方程进行了改进，并选择合适的退火参数和遗传参数进行计算，得到的数据处理结果与仪器处理结果基本一致。最后对两种算法在解决该类问题上的优劣进行了比较。