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期刊论文
GaAs单晶阈值电压自动测试系统的研究
GaAs单晶阈值电压自动测试系统的研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kissall
【摘 要】
:
根据GaAs阈值电压的测试原理,选取了一种比较精确的实验测试计算方法.在此基础上,分别设计了GaAs单晶阈值电压均匀性自动测试系统的硬件电路和软件程序,并利用此系统对GaAs样
【作 者】
:
胡志高
朱敏
李传海
【机 构】
:
中科院上海技术物理研究所,合肥工业大学理学院,中科院上海冶金研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年11期
【关键词】
:
阈值电压
自动测试系统
集成电路
砷化镓
GaAs
threshold voltage
uniformity
auto-test system
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根据GaAs阈值电压的测试原理,选取了一种比较精确的实验测试计算方法.在此基础上,分别设计了GaAs单晶阈值电压均匀性自动测试系统的硬件电路和软件程序,并利用此系统对GaAs样品进行了实际测量,效果良好.
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