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对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定.对引起不确定度性的许多因素,如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算,特别对输入变量相关时的合成问题作了研究.最后得到了S-4200型扫描电镜微米级测量长度的扩展的不确定度.
扫描电镜测量微米级长度的不确定度评定
【摘 要】
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对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定.对引起不确定度性的许多因素,如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算,特别对输入变量相关时
【机 构】
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上海宝钢研究院分析测试研究中心
【出 处】
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理化检验(物理分册)
【发表日期】
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2003年1期
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