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准分子激光是一门现代科学．20世纪八十年代末期，仅仅有为数不多的实验室研发准分子激光．例如：Tachisto．Lumonics、Lambda Physik、Avco．Spectra Gases等。Spectra Gases专项在于研究准分子激光气体，并参与各个实验室的研究工作。
Spectra Gases：特种气体助力光刻技术的延伸
【摘 要】
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准分子激光是一门现代科学．20世纪八十年代末期，仅仅有为数不多的实验室研发准分子激光．例如：Tachisto．Lumonics、Lambda Physik、Avco．Spectra Gases等。Spectra Gases专项在于
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年3期
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