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在半导体电子工厂中，为了避免可燃气体和有毒气体泄漏造成的人身或生产安全事故，并监视各种供气设备的状态，应安装气体检测和监视系统。根据半导体电子工厂的工艺特点以及气体检测和监测系统的要求，以大型项目为例为半导体电子工厂设计了气体检测和监测系统。
半导体电子厂房气体检测及监视系统的设计
【摘 要】
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在半导体电子工厂中，为了避免可燃气体和有毒气体泄漏造成的人身或生产安全事故，并监视各种供气设备的状态，应安装气体检测和监视系统。根据半导体电子工厂的工艺特点以及气体检
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究 河北石家庄 050051
【出 处】
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商品与质量
【发表日期】
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2021年28期
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