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【摘 要】
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本文以碳纳米管（CNT）作为阴极电子源设计一种新型的冷阴极电离真空计结构,结构包括场发射电子源、阳极和离子收集极,阳极和离子收集极为同轴圆环结构。利用热化学气相沉积法在
【机 构】
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温州大学微纳结构与光电器件研究所;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家科学基金资助,项目号:61620106006
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