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在国内首次实现了φ76.2mm直拉单晶硅减速拉晶、控氧、等径到收尾的全过程计算机全数字控制,摸索出一套基本控制模式和工艺方法。该系统能全自动保持理想的温度补偿,保证各炉单晶生长的工艺参数曲线的一致性,从而提高了单晶棒性能的一致性、产品实收率、电阻率和氧分布的均匀性。
计算机全数字控制直拉单晶硅系统
【摘 要】
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在国内首次实现了φ76.2mm直拉单晶硅减速拉晶、控氧、等径到收尾的全过程计算机全数字控制,摸索出一套基本控制模式和工艺方法。该系统能全自动保持理想的温度补偿,保证各炉
【机 构】
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北京计算机学院,洛阳单晶硅厂,清华大学
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1990年4期
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