【摘 要】
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本文从理论上和实验上论证了现行的高温磷扩散工艺对逻辑集成电路开关速度的诸多不良影响;提出一种改进了的磷扩散工艺——“低温磷扩散工艺”,理论分析和实验结果示出它对逻
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本文从理论上和实验上论证了现行的高温磷扩散工艺对逻辑集成电路开关速度的诸多不良影响;提出一种改进了的磷扩散工艺——“低温磷扩散工艺”,理论分析和实验结果示出它对逻辑集成电路的开关速度有较显著的提高。
In this paper, the theoretical and experimental proofs of the current high-temperature phosphorus diffusion process on the logic integrated circuit switching speed of many adverse effects; proposed an improved phosphorus diffusion process - “low-temperature phosphorus diffusion process,” theoretical analysis and experimental results show It out of the logic integrated circuit switching speed has been significantly improved.
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