薄膜红外探测器的研究

• 作 者: 魏红振 李家鎔
• 机 构: 华中理工大学激光技术国家重点实验室
• 出 处: 激光技术
• 发表日期: 1999年02期
• 关键词: 红外探测器 测辐射热计 热电偶材料 薄膜型 响应度 响应特性 等效噪声功率 热电堆 蒸镀 温差电效应

介绍了薄膜热电偶探测器的研究，讨论了薄膜热电偶探测器的结构对探测器响应特性的影响。

The research of the thin film thermocouple detector is introduced. The influence of the structure of the thin film thermocouple detector on the response characteristics of the detector is discussed.