【摘 要】
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对目前几种比较有代表性的结晶器非正弦振动波形进行了介绍,并提出了一种新的波形。从振动动力学、最大上振速度、最大加速度及主要振动工艺参数值等几方面,对各种波形特点进
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对目前几种比较有代表性的结晶器非正弦振动波形进行了介绍,并提出了一种新的波形。从振动动力学、最大上振速度、最大加速度及主要振动工艺参数值等几方面,对各种波形特点进行了全面分析和比较。结果表明,YSU波形、WIS波形要优于其他波形。另外,还对非正弦振动波形偏斜率的取值进行了分析,认为其最佳取值范围为0.25~0.35。
Several representative non-sinusoidal vibration waveforms are introduced and a new waveform is proposed. From the vibration dynamics, the maximum on the vibration speed, the maximum acceleration and the main vibration process parameters and several other aspects of the various waveform characteristics were analyzed and compared. The results show that, YSU waveform, WIS waveform is better than other waveforms. In addition, the value of non-sinusoidal vibration waveform skewness is also analyzed, the best value range is 0.25 ~ 0.35.
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