在超高真空系统中对硅表面进行电子束退火的L_(23)VV Auger能谱精细结构分析

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本文首先报道了清洁的Si(100)表面观察到L23VV条Auger精细谱线。经过短时间的电子束退火后又观察到能量为62.8eV和68.1eV两条谱线。前者可以用Si-O系统L23(Si)L1(O)O1(O)的交叉跃迁来解释;后者虽已有报道,但在解释上引起争议。本文根据实验认为它与C在Si表面的吸附有关。
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