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半导体制造设备以及电子产品加工设备越来越趋向于小型化,响应速度越来越高.为此,其驱动用的伺服电动机也要求体积小,节省占用空间,低惯量以提高其响应速度.多年来,富士电机公司在伺服电动机方面进行了研究和开发,使该公司的产品达到了一个新的水平.其近期研制的伺服电动机产品特点简介如下.
伺服电动机制造技术
【摘 要】
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半导体制造设备以及电子产品加工设备越来越趋向于小型化,响应速度越来越高.为此,其驱动用的伺服电动机也要求体积小,节省占用空间,低惯量以提高其响应速度.多年来,富士电机
【机 构】
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上海电器科学研究所200063
【出 处】
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中小型电机
【发表日期】
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2001年3期
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