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简要综述了化学镀工艺在微电子材料中的应用,讨论了影响化学镀镍、铜、锡、钴和贵金属等的主要因素,阐述了化学镀微电子材料的特性、存在问题及研究动态.
化学镀工艺在微电子材料中的研究和应用
【摘 要】
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简要综述了化学镀工艺在微电子材料中的应用,讨论了影响化学镀镍、铜、锡、钴和贵金属等的主要因素,阐述了化学镀微电子材料的特性、存在问题及研究动态.
【机 构】
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上海大学材料与工程学院高分子材料系,上海大学材料与工程学院电子信息材料系,上海大学材料与工程学院材料研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年5期
【基金项目】
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上海市纳米科技专项基金资助课题(No.0252nm012)
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