【摘 要】
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针对行波管用阴极表面异常的黑斑现象,利用扫描电镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS)对阴极的不同微区进行了对比分析,查找黑斑产生的原因,并对其对阴极发射性能造成的影响进行了探讨
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
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针对行波管用阴极表面异常的黑斑现象,利用扫描电镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS)对阴极的不同微区进行了对比分析,查找黑斑产生的原因,并对其对阴极发射性能造成的影响进行了探讨。结果表明,行波管内真空度下降,阴极中的发射物质与空气中的水汽和氧气反应,随着工作时间的延长,最终导致黑斑的出现。黑斑的出现严重影响阴极的发射性能,这对行波管的封装可靠性提出了较高的要求。
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