气浮导轨误差均化作用的探讨

• 作 者: 齐乃明 陶家生 关英姿 王伟远
• 机 构: 航天工程与力学系
• 出 处: 哈尔滨工业大学学报
• 发表日期: 1997年01期
• 关键词: 直线度 滑套 运动副 全波 平行度 气体润滑 气体轴承 光刻机 减函数 直度

用解析法探讨了导轨误差均化作用对确定导轨滑套长度、静导轨直线精度及其长度的影响所得结果可使导轨多数的选择更趋合理。

The influence of the homogenization of the guideway error on the length of the sliding sleeve and the linear precision of the guideway and its length is discussed by the analytic method. The results can make the choice of the guideway more rational.