基于PZT的面内压电微驱动器力学分析

来源 :北方工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lansekafei4271

【摘要】

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基于PZT的面内压电微驱动器是一种能够在面内产生水平运动的微型驱动器,由下层的Si单质和上层的PZT组成.通过施加电场,使驱动器末端产生位移来实现驱动功能.本文通过将整个驱

【作者】

：

景作军高轩

【机构】

：

北方工业大学机械与材料工程学院

【出处】

：

北方工业大学学报

【发表日期】

：

2017年5期

【关键词】

：

微驱动器复合材料 PZT 力学分析 micro-actuator composite materials PZT force analyze

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基于PZT的面内压电微驱动器是一种能够在面内产生水平运动的微型驱动器,由下层的Si单质和上层的PZT组成.通过施加电场,使驱动器末端产生位移来实现驱动功能.本文通过将整个驱动器划分为横梁和斜梁,以横梁和斜梁连接处位移相等为条件,求出二者连接处的受力大小,进而给出微驱动器在z方向电场作用下y方向上的形变关于各个结构参数及电场的函数表达式.

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