【摘 要】
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对微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b。鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽
【机 构】
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沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心,国营第五二四厂,
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对微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b。鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽进行了精密测量,分析计算出加工误差对弹性系数的影响大小,并对S型微弹簧的设计提出几点建议。
The most influential parameter affecting the vertical elastic coefficient of an S-shaped micro-spring machined by a Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) is the spring line width b. In view of this, we specially measured the line width of two different springs processed by LIGA process, analyzed and calculated the influence of machining error on the elastic coefficient, and made some suggestions on the design of S-shaped micro-spring.
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