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采矿与金属加工企业罕王集团近日宣布，拟投资30亿元在辽宁抚顺经济开发区建设罕王微机电高科技产业园，发展高端传感器和MEMS器件，年计划生产MEMS芯片5亿只。MEMS器件广泛川于医疗、汽车、智能手机等领域，目前中国高端MEMS几乎全部依赖进口。
罕王集团投资30亿元建造中国首座MEMS晶圆厂
【摘 要】
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采矿与金属加工企业罕王集团近日宣布，拟投资30亿元在辽宁抚顺经济开发区建设罕王微机电高科技产业园，发展高端传感器和MEMS器件，年计划生产MEMS芯片5亿只。MEMS器件广泛川于医
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2012年5期
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