【摘 要】
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报道了EMCORE公司的旋转盘反应器,或TurboDisc反应器,这是一种带有旋转盘的立式反应器.衬底片放置在高速旋转的盘上并被加热到合适的生长温度.反应物在初始阶段因高速旋转盘
【机 构】
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EMCORECorporation
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报道了EMCORE公司的旋转盘反应器,或TurboDisc反应器,这是一种带有旋转盘的立式反应器.衬底片放置在高速旋转的盘上并被加热到合适的生长温度.反应物在初始阶段因高速旋转盘的牵引力被竖直向下地泵入,然后偏斜形成一个与衬底片托盘平行的流动区域.在"GaNzilla”,EMCORE公司的一种新型325mm的GaN生产反应器中外延生长了GaN材料.为在蓝宝石衬底上得到高质量的GaN,采用高的生长压力和高旋转速度,可以在这种旋转盘反应器中实现必要的生长条件.还对p-GaN,InGaN,InGaN多
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