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综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展；分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点．最后对微机械产品及其加工方法的新前景进行了展望．
微机械产品的应用及其微细加工方法的分析研究
【摘 要】
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综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展；分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点．最后对微机械产
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院,不详
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2008年8期
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